电容式压力传感器是以测压的弹性膜片作为电容的可移动极板，与固定极板之间形成可变电容。当被测压力变化时，使可动极板产生位移，并与固定极板的距离发生变化，使电容的电容量改变，则通过测量电容量的变化，即可间接获得被测压力的大小。其特点是灵敏度高，动态响应好；此外在一定的范围内，当Δd/d＜＜0时，电容的变化与压力引起的动极板位移之间是近似线性关系，因此为保证近似线性工作，测量时必须限制动极板的位移量。