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【正确答案:B】
本题考查的知识点是洁净厂房安全出口的设置要求甲、乙类生产厂房每层的生产洁净区厂房,总建筑面积不超过100㎡,且同一时间内的生产人员总数不超过5人。
本题中,根据洁净厂房火灾危险性分类,集成电路工厂的化学清洗间为甲类洁净厂房,因此该清洗间同一时间内清洗操作人员应不超过5人。故B正确。
本题答案:B。
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