参考答案

【正确答案：B】

金属氧化物半导体材料结构不甚致密，各晶粒间有一定的空隙，成多孔毛细管状，因此水分子可通过细孔，在各晶粒表面和晶粒间界面上吸附，并在晶粒间界面处凝聚，材料的细孔径越小，则水分子越容易凝聚，其结果是引起界面处接触电阻的明显下降。被测的湿度越大、凝聚的水分子越多时，电阻值也就下降的越多。这也是其电阻值与相对湿度的关系线性度较其他形式传感器差的主要原因。