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微表处理工艺是什么?

帮考网校2020-09-18 18:23:40
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微表处理工艺是一种制造微型机械元件的工艺,通常用于制造微型机械系统(MEMS)。该工艺利用微电子加工技术和微机械加工技术,将微米级的材料加工成具有特定形状和功能的微型元件,如微机械传感器、微机械执行器、微流体芯片等。微表处理工艺主要包括光刻、薄膜沉积、离子注入、湿法腐蚀、干法腐蚀、微加工等技术。这些技术可以通过不同的组合和序列,实现不同形状和功能的微型元件的制造。
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