通常将坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为3项位置度、6项直线度、9项角摆误差、以及3轴相互之间的3项垂直度，共21项参数误差。

21项误差是测量机的基本几何误差，为了保证测量机满足示值误差及探测误差的要求，生产厂家都要测量和控制这21项误差，必要时进行补偿。
21项误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涩仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪。但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果。这21项中有：
(1) X、Y、Z三个方向的位置度。
(2) 沿X、Y、Z三个方向运动时的6个直线(3 x 2)
(3) 沿X、Y、Z三方向运动时自转、俯仰、方向九个角摆。
(4) X、Y、Z各轴间3个垂直度。
对于平臂测量机则为24项误差，即加上水平臂伸出时的政策垂量误差。