薄膜电阻工艺流程中,溅射薄膜形成过程存在高能量,因此和其它薄膜类似,电阻薄膜形成过程中存在各种缺陷,而且其缺陷密度远多于相应的块材。这些缺陷对薄膜性能有重要影响。主要缺陷分为:
结构缺陷:点缺陷(气隙)、线缺陷(位错)、面缺陷(晶界)
杂质缺陷:存在杂质
因为缺陷和杂质能够改变传导电子密度、引起载流子的散射,使得薄膜电阻率增加。所以对网状和连续电阻薄膜的电阻率及其温度系数有很大的影响 。
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