金属材料表面分析是对金属表面或界面上只有几个原子层厚的薄层进行组分、结构和能态等分析的材料物理试验。也是一种利用精密仪器分析手段，揭示材料及其制品的表面形貌、成分、结构或状态的技术。

检测项目

※SEM断口观察 + 微区污染EDS分析：

观察金属、塑料、陶瓷等固体材料的表面微观形貌以及测量微小尺寸。分析固体表面微区

含有的元素种类,各元素的 相对含量以及各元素在特定区域内的含量分布情况 。

※表面成份 + 深度 GD-OES分析：

既可以进行基体成分分析,如硬质合金材料,也可以进行表面成分-深度剖析,如PVD薄膜、

电镀层、热处理硬化层、涂装层、阳极氧化膜及化膜的表面工艺分析。

※制程质量缺陷分析

SEM/ED S

功能: 微形貌观察、微小尺寸量测、微区成分分析

‧放大倍率: 5倍~30万倍

‧探测器分辨率: 133eV

‧可分析元素范围: Be(4)~U(92)

辉光放电光谱仪(GD-OES)

‧功能: 基材成分测试、表面成分-深度剖析

‧特点: 可得到产品表面成分随深度的分布曲线

‧深度范围: 10nm~150μm

‧成分范围: 10ppm~100%

参考标准: