中效过滤器
对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行最后一级过滤;为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。